ULPA फ़िल्टर क्या है? यह HEPA से किस प्रकार भिन्न है और प्रत्येक कहाँ से संबंधित है

EN 1822 के अंतर्गत एक HEPA फ़िल्टर आमतौर पर H13 या H14 को संदर्भित करता है। ULPA फ़िल्टर U15, U16, या U17 को संदर्भित करता है। H14 से U15 तक की छलांग कागज पर छोटी लगती है, लेकिन प्रवेश के लिहाज से यह एक बड़ा कदम है। H14 अधिकतम 0.005% की समग्र पैठ की अनुमति देता है, जबकि U15 इसे घटाकर 0.0005% कर देता है। यह स्वीकार्य प्रवेश में 10× की कमी है।

यह पहली बात है जिसे खरीदारों को याद रखना चाहिए:

•एच14=HEPA

•यू15-यू17=यूएलपीए

•परीक्षण का आधार एमपीपीएस है, न कि केवल एक साधारण 0.3 माइक्रोन मार्केटिंग स्टेटमेंट

उच्च दक्षता का मतलब आमतौर पर सख्त संदूषण नियंत्रण होता है, लेकिन एयरफ्लो डिजाइन और प्रेशर ड्रॉप के प्रति अधिक सिस्टम संवेदनशीलता भी होती है

EN 1822 दक्षता वर्ग

EN 1822 के तहत, आमतौर पर संदर्भित उच्च दक्षता वर्ग हैं:

•एच13: समग्र दक्षता 99.95% से अधिक या उसके बराबर

•एच14: समग्र दक्षता 99.995% से अधिक या उसके बराबर

•यू15: समग्र दक्षता 99.9995% से अधिक या उसके बराबर

•यू16: समग्र दक्षता 99.99995% से अधिक या उसके बराबर

•यू17: समग्र दक्षता 99.999995% से अधिक या उसके बराबर

उसी वर्ग तालिका में स्थानीय दक्षता/प्रवेश सीमाएँ भी शामिल हैं, जो तब मायने रखती हैं जब लीक स्कैनिंग स्वीकृति आवश्यकता का हिस्सा हो।

यहीं से भ्रम शुरू होता है.

बाज़ार में, कई ULPA डेटाशीट अभी भी 0.12 μm पर प्रदर्शन को 99.9995% बताते हैं। एएएफ उत्पाद साहित्य सीधे यूएलपीए मॉड्यूल और बॉक्स फिल्टर के लिए ऐसा करता है। वह शब्दांकन अभी भी कई इंजीनियरों के लिए सामान्य और परिचित है। लेकिन EN 1822/आईएसओ 29463 के तहत औपचारिक वर्गीकरण तर्क एमपीपीएस परीक्षण पर आधारित है। इसका मतलब है कि उत्पादों की तुलना करने का सबसे सुरक्षित तरीका है:

•पहले कक्षा की जाँच करें: H14, U15, U16, U17

•परीक्षण मानक की पुष्टि करें: EN 1822 / आईएसओ 29463

•फिर समीक्षा करें कि आपूर्तिकर्ता डेटाशीट में मापी गई दक्षता कैसे बताता है

U15 जंप का वास्तव में क्या मतलब है?

हमारे इंजीनियर अक्सर खरीदारों को व्यवहार करते देखते हैंU15जैसा कि "H14 से थोड़ा ही बेहतर है।" यह उससे बेहतर है. स्वीकार्य कुल प्रवेश एक दशमलव स्थान से कम हो जाता है। सफ़ाई कक्ष के संदर्भ में, यह तब मायने रखता है जब प्रक्रिया पहले से ही दोष स्तर पर लड़ रही हो, न कि केवल कमरे के आराम स्तर पर।

हेल्थकेयर और ऑपरेटिंग रूम: लक्ष्य संक्रमण नियंत्रण है, वेफर उपज नहीं

स्वास्थ्य देखभाल डिज़ाइन में, मुख्य चिंता वायुजनित संक्रामक जोखिम, सर्जिकल साइट संदूषण, दबाव संबंध और महत्वपूर्ण क्षेत्र पर स्वच्छ वायु प्रवाह को नियंत्रित करना है। ASHRAE के स्वास्थ्य देखभाल मार्गदर्शन में यह कहा गया हैमानक 170 के अनुसार HEPA फ़िल्टर की आवश्यकता केवल सुरक्षात्मक वातावरण वाले कमरों के लिए होती है, हर स्वास्थ्य सेवा क्षेत्र में नहीं। ऑपरेटिंग कमरों के लिए, आपूर्ति विसारक सरणी, वायु प्रवाह पैटर्न और कमरे के दबाव पर जोर दिया जाता है। यही कारण है कि स्वास्थ्य देखभाल संबंधी चर्चाएं आमतौर पर इसी पर केन्द्रित होती हैंहेपा, यूएलपीए नहीं।

ऐसे स्वास्थ्य देखभाल उत्पाद हैं जो वैकल्पिक ULPA प्रदर्शन प्रदान करते हैं। कैम्फ़िल के ऑपरेटिंग थिएटर वेंटिलेशन साहित्य में कुछ प्रणालियों के लिए वैकल्पिक ULPA फ़िल्टर का उल्लेख है। लेकिन इससे व्यापक नियम नहीं बदलता:मानक स्वास्थ्य देखभाल बेंचमार्क HEPA-ग्रेड निस्पंदन है, जबकि यूएलपीए एक विशेष मामला है, डिफ़ॉल्ट उत्तर नहीं।

सेमीकंडक्टर क्लीनरूम अलग हैं। कैम्फिल के सेमीकंडक्टर मार्गदर्शन में वायुजनित आणविक संदूषण (एएमसी) के सख्त नियंत्रण के साथ-साथ आईएसओ कक्षा 1 कण स्तर को लक्षित करने वाले फैब्स का वर्णन किया गया है। यह लिथोग्राफी, ईच, डिफ्यूजन, मेटलाइजेशन, आयन इम्प्लांटेशन, निरीक्षण उपकरण और रेटिकल या वेफर स्टोरेज जैसे अनुप्रयोगों में HEPA और ULPA फिल्टर के उपयोग पर भी प्रकाश डालता है। MANN+HUMMEL H14 से U17 तत्वों का उपयोग करके साफ-सुथरे कमरों के लिए FFU सिस्टम का भी वर्णन करता है।

यही कारण है कि सेमीकंडक्टर खरीदार अक्सर HEPA से ULPA की ओर चले जाते हैं:

•महत्वपूर्ण कण आकार छोटे होते हैं

•उपज हानि सीधे तौर पर नैनोस्केल संदूषण से जुड़ी है

•उपकरण और छोटे{{0}वातावरण को अक्सर आसपास के फैब की तुलना में अधिक सख्त नियंत्रण की आवश्यकता होती है

वायुजनित आणविक संदूषण कणों के साथ-साथ मायने रखता है

सरल नियम:
•यदि कमरा किसी मरीज और स्टाफ वर्कफ़्लो की सुरक्षा कर रहा है, तो HEPA आमतौर पर संदर्भ बिंदु होता है।
यदि कमरा वेफर, मास्क, रेटिकल, या उन्नत प्रक्रिया उपकरण की सुरक्षा कर रहा है, तो ULPA बहुत अधिक सामान्य हो जाता है

नहीं, स्वचालित रूप से नहीं.

कागज पर बेहतर फ़िल्टर हमेशा क्षेत्र में बेहतर इंजीनियरिंग विकल्प नहीं होता है।

खरीदारों को यह भी तुलना करनी चाहिए:

•प्रारंभिक प्रतिरोध

•स्वीकार्य अंतिम दबाव ड्रॉप

•प्रशंसक क्षमता और ऊर्जा लागत

•वायुप्रवाह एकरूपता

•सीलिंग और स्कैन-परीक्षण आवश्यकताएँ

•उत्तेजक व्यवहार

यदि फ़िल्टर तेजी से बंद हो जाता है या वायु प्रणाली को फिर से डिज़ाइन करने के लिए मजबूर करता है तो आवेदन जोखिम

हमारे इंजीनियर अक्सर ULPA को निर्दिष्ट देखते हैं जहां H14 कम सिस्टम प्रतिरोध और कम परिचालन लागत के साथ वास्तविक प्रक्रिया की आवश्यकता को पूरा करता। विपरीत गलती भी होती है: HEPA को सेमीकंडक्टर या माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स आरएफक्यू में कॉपी किया जाता है क्योंकि यह अधिक परिचित शब्द है। कोई भी शॉर्टकट अच्छा खरीद अभ्यास नहीं है।

इस बिंदु को हर समय नजरअंदाज कर दिया जाता है।

सेमीकंडक्टर और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक वातावरण में, समस्या सिर्फ कणों की नहीं है। यह फिल्टर से ही आणविक रिलीज भी है। कैम्फिल का कहना है कि इसकी सेमीकंडक्टर प्रीफ़िल्टर रेंज बोरान जारी किए बिना HEPA फ़िल्टर की सुरक्षा के लिए डिज़ाइन की गई है, और सेमीकंडक्टर उपयोग के लिए इसके HEPA/ULPA उत्पाद बहुत कम आउटगैसिंग के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। एएएफ माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स पक्ष से भी यही बात कहता है, बोरान मुक्त और रासायनिक रूप से निष्क्रिय फिल्टर मीडिया गैसिंग को सीमित करता है जो माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स को नुकसान पहुंचा सकता है। हॉलिंग्सवर्थ और वोस ने सेमीकंडक्टर फैब क्लीनरूम के लिए डिज़ाइन किए गए अपने कम बोरॉन माइक्रोग्लास मीडिया का भी वर्णन किया है।

सेमीकंडक्टर निर्माण में, ट्रेस संदूषण सैद्धांतिक नहीं है। वायुजनित आणविक संदूषण और रासायनिक अवशेष वेफर सतहों, प्रकाशिकी और प्रक्रिया उपकरणों को प्रभावित कर सकते हैं। कैम्फ़िल स्पष्ट रूप से नोट करता है कि अवांछित प्रतिक्रियाओं में एसिड, बेस, ऑर्गेनिक्स, अपवर्तक और शामिल हैंडोपेंटदोष उत्पन्न कर सकते हैं और उपकरण दक्षता को कम कर सकते हैं। सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में बोरॉन एक डोपेंट तत्व है, इसलिए वायु पथ में सामग्रियों से अनियंत्रित बोरॉन रिलीज बिल्कुल उसी तरह की चीज है जिससे फैब बचने की कोशिश करते हैं।

इसीलिए इलेक्ट्रॉनिक्स के खरीदार अक्सर पूछते हैं:

•कम-बोरॉनमिडिया

•कम -उत्सर्जनचिपकने वाले और घटक

•ULPA या उच्च-अंत HEPA/ULPA मॉड्यूल विशेष रूप से माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स के लिए बनाए गए हैं

•क्लीनरूम फिल्टर लिथोग्राफी, ईच, पतली फिल्म, या निरीक्षण उपकरण वातावरण से मेल खाते हैं

यह महत्वपूर्ण है. प्रत्येक सफ़ाई कक्ष में कम -बोरॉन फ़िल्टर मीडिया आवश्यक नहीं है।

यह तब महत्वपूर्ण हो जाता है जब:

यह प्रक्रिया अर्धचालक या माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक है

खरीदार एएमसी और सामग्री आउटगैसिंग का प्रबंधन कर रहा है

फैब या टूलमेकर के पास रासायनिक सफाई पर कड़े नियम हैं

ट्रेस संदूषण की लागत बहुत अधिक है

कई फार्मास्युटिकल, अस्पताल, या मानक औद्योगिक क्लीनरूम के लिए, यह आवश्यकता आरएफक्यू में कभी भी दिखाई नहीं दे सकती है।

1. मानक की जांच किए बिना 0.3 μm पर HEPA की 0.12 μm पर ULPA से तुलना करना

जब तक आप बताए गए परीक्षण आधार और वर्ग की पुष्टि नहीं करते, तब तक यह सेबों से {{1}संतरों की तुलना है। EN 1822 / आईएसओ 29463 वर्गीकरण एमपीपीएस के आसपास बनाया गया है।

2. ULPA को निर्दिष्ट करना क्योंकि यह "अधिक सुरक्षित लगता है"

यदि सिस्टम दबाव ड्रॉप को अवशोषित नहीं कर सकता है या यदि प्रक्रिया को इसकी आवश्यकता नहीं है तो उच्च दक्षता एक मुफ्त अपग्रेड नहीं है।

3. इलेक्ट्रॉनिक्स में आउटगैसिंग और रासायनिक सफाई को नजरअंदाज करना

अर्धचालक अनुप्रयोगों में, फ़िल्टर की अपनी सामग्री मायने रखती है। कम-बोरॉन और कम-आउटगैसिंग निर्माण दक्षता वर्ग जितना ही महत्वपूर्ण हो सकता है।

4. बिना क्लास के RFQ में "ULPA फ़िल्टर" लिखना

एक गंभीर आरएफक्यू को कहना चाहिएU15, U16, या U17, प्लस परीक्षण मानक और आकार।